-
ለሴሚኮንዳክተር ምርመራ መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሴራሚክ ሳህን ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተሸካሚ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለከፍተኛ ሙቀት ክፍል ማሸጊያ የሚሆን ከፍተኛ ንፁህ የአሉሚና ሴራሚክ ማህተም ቀለበት
የቅዱስ ሴራሚክ ማኅተም ቀለበት ኤላስቶመሮች በሚበላሹባቸው በጣም አስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ከፖሊመር ኦ-ቀለበቶች አማራጭ ሆኖ የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራው ይህ ጠንካራ የማኅተም ቀለበት እስከ 800°ሴ ባለው የሙቀት መጠን እና በኃይለኛ ፕላዝማ ወይም ኬሚካላዊ አካባቢዎች አስተማማኝ የቫክዩም ወይም የጋዝ መከላከያ ለማቅረብ በማይንቀሳቀስ የማኅተም አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። ቁሱ ዜሮ ጋዝ ማውጣት፣ ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ (ከታች ያለው የመተጣጠፍ ጥንካሬ 361 MPa) እና የኬሚካል ኢንተለጀንስ (ከ HF በስተቀር ለ halogens፣ አሲዶች እና አልካላይስ የሚቋቋም) ይሰጣል። በትክክል የተዘጉ የማኅተም ቦታዎች (ጠፍጣፋነት ≤5 μm፣ የገጽታ ሻካራነት Ra ≤0.2 μm) ከተጣመሩ የብረት ወይም የሴራሚክ ክፍሎች ጋር ፍሳሽ-ጥብቅ ግንኙነትን ያረጋግጣሉ።
-
ለፕላዝማ ኤች እና ሲቪዲ ሲስተሞች ከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ቻምበር የትኩረት ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የክፍል ትኩረት ቀለበት በፕላዝማ ኢች፣ ሲቪዲ እና ፒቪዲ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ወሳኝ የሂደት ኪት አካል ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (አል₂O₃) የተመረተው ቀለበት የዋፈር ጠርዝን በመክበብ የ ion አንግል ስርጭትን ያመቻቻል፣ በዚህም በዋፈር ወለል ላይ የኤች ወጥነት ያሻሽላል። ቁሱ ልዩ የሆነ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በጠንካራ የፍሎሪን ወይም ክሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የመሬት መታወቂያ/OD እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ትክክለኛ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የጠርዝ ጉድለቶችን እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።
-
ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሂደት ቻምበርስ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ቀለበት
የቅዱስ ሴራሚክ ቀለበት በተለይ በሲቪዲ (ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን) እና በፒቪዲ (አካላዊ ትነት ዲፖዚሽን) የሂደት ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፁህ አሉሚና (አል₂O₃) የተሰራው ይህ ቀለበት ፕላዝማውን ለመገደብ እና የክፍሉን ግድግዳዎች ከአፈር መሸርሸር ለመጠበቅ እንደ የክፍል ሽፋን፣ የትኩረት ቀለበት ወይም የሂደት ኪት አካል ሆኖ ያገለግላል። ቁሱ እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በኃይለኛ ፍሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች ረጅም የአገልግሎት ዘመንን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የልኬት መቻቻል (±0.05 ሚሜ በID/OD ላይ) እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ወጥ የሆነ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የተከማቸ ወጥነትን ያሻሽላሉ እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።
-
የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ — ቀጭን እና በቀላሉ የሚሰበር ዋፈርን የማያገናኝ የዋፈር አያያዝ
የቅዱስ ሴራ የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር ያለ አካላዊ ንክኪ ዋፈርዎችን ለማስተናገድ የአየር ዳይናሚክ ሊፍት ይጠቀማል። ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% አሉሚና (Al₂O₃) ወይም ከሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የተሰራ ሲሆን፣ በመጨረሻው ኢፌክተር እና በዋፈር መካከል ቀጭን የአየር ፊልም ለመፍጠር ግፊት ያለው ጋዝ የሚያወጡ ትክክለኛ ማሽን ያላቸው ኖዝሎችን ያሳያል። ይህ ንክኪ የሌለው መርህ የኋላ ብክለትን፣ የጠርዝ መቆራረጥን እና የገጽታ ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም ለቀጭን (≤100 μm)፣ ለደካማ ወይም ለተዛቡ ዋፈርዎች ተስማሚ ያደርገዋል። የሴራሚክ ንጣፍ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (ለAl₂O₃ 361 MPa፤ እስከ 550–600 MPa ለSiC)፣ ዝቅተኛ ክብደት እና እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት መረጋጋት ይሰጣል፣ ይህም በከፍተኛ ፍጥነት ባለው የዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ውስጥ ተደጋጋሚ አቀማመጥን ያረጋግጣል።
-
ለሴሚኮንዳክተር እና ለኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የአልሙና ሴራሚክ ክፍሎች
ሴንት ሴራ በደንበኛው ዝርዝር ሁኔታ መሰረት በትክክል የሚሠሩ አሉሚና (Al₂O₃) የሴራሚክ ክፍሎችን ያመርታል። እነዚህ ክፍሎች 99.8% ከፍተኛ ንፅህና ያለው አሉሚና በመጠቀም እጅግ በጣም ጥሩ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa)፣ ከፍተኛ ጥንካሬ (16 GPa) እና እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15 × 10⁶ V/m) ያቀርባሉ። ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች፣ ለመልበስ የሚቋቋሙ መገጣጠሚያዎች፣ ለኤሌክትሪክ ኢንሱሌተሮች እና ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ማስተካከያዎች የተነደፈው ቁሳቁስ ከዜሮ ጋር የሚቀራረብ የውሃ መምጠጥ (0%) እና የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት 7.2 × 10⁻⁶/℃ ሲሆን ይህም በከፍተኛ ሁኔታዎች ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣል።
-
ለተጠማዘዘ ዋፈር አያያዝ ባለ ቀዳዳ የሴራሚክ ቫክዩም ማገጃ
የቅዱስ ሴራ ቀዳዳ ያለው የሴራሚክ ክላች የተሰራው ከከፍተኛ ንፁህ አልሙና ሲሆን ከ30-45% የሆነ ወጥ የሆነ ክፍት ቀዳዳ እና ከ10 እስከ 100 μm የሚደርስ የቀዳዳ መጠን አለው። ከተለምዷዊው ጎድጎድ ያሉ ክላች በተለየ መልኩ ቀዳዳው ወለል በጠቅላላው ዋፈር ጀርባ ላይ የተከፋፈለ ቫክዩም ያቀርባል፣ የተጠማዘዘ፣ ቀጭን ወይም የተነጠፈ ዋፈር ያለ ጠርዝ ማንሳት ወይም መሰበር ውጤታማ በሆነ መንገድ ይይዛል። ረጋ ያለው ቫክዩም (በመገደብ በኩል ሊስተካከል የሚችል) የጀርባ ምልክትን ይከላከላል።
-
ለቀጭን ዋፈር አያያዝ በአሉሚና ላይ የተመሠረተ ባለ ቀዳዳ ሴራሚክ ቫክዩም ማገጃ
የቅዱስ ሴራ በአልሙና ላይ የተመሰረተ ቀዳዳ ያለው ቹክ የተሰራው ከ99.6% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አል₂O₃ ሲሆን ከ30-45% የሚደርስ ቁጥጥር የሚደረግበት ክፍት ቀዳዳ እና ከ10 እስከ 50 μm የሚደርስ ወጥ የሆነ ቀዳዳ መጠን አለው። ከተጎረፉ ቹኮች በተለየ መልኩ ቀዳዳው ወለል በጠቅላላው የዋፈር ጀርባ ላይ የተከፋፈለ ቫክዩም ይሰጣል፣ የጠርዝ ምልክትን ያስወግዳል እና እጅግ በጣም ቀጭን (≤100 μm) ወይም የተጠላለፉ ዋፎችን በቀስታ መያዝ ያስችላል። ቁሱ ተጣጣፊ ጥንካሬ ≥250 MPa እና በአየር ውስጥ እስከ 400°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል።
-
ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሻወር ጭንቅላት የአልሙና ጋዝ ማከፋፈያ ሳህን
የቅዱስ ሴራ የጋዝ ማከፋፈያ ሳህን (ሻወር ጭንቅላት) ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% የአሉሚና ሴራሚክ የተሰራ ነው። በሲቪዲ፣ ፒቪዲ ወይም ኤኤልዲ ሂደቶች ወቅት በዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት የሚያረጋግጡ የተለያዩ ጥቃቅን ቀዳዳዎችን (ዲያሜትሮች 0.3–1.5 ሚሜ) ያካትታል። የሳህኑ ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ (>15×10⁶ ቪ/ሜ) እና የፕላዝማ መቋቋም ለሴሚኮንዳክተር ቀጭን ፊልም ክምችት አስፈላጊ ያደርገዋል።
-
ለሴሚኮንዳክተር ሂደት እቃዎች የሴራሚክ ድጋፍ ፒን
የቅዱስ ሴራ የሴራሚክ ድጋፍ ፒኖች (ሊፍት ፒኖች ወይም የድጋፍ ፒኖች በመባልም ይታወቃሉ) በሴሚኮንዳክተር ሂደት ክፍሎች ውስጥ በአያያዝ፣ በማሞቅ ወይም በማቀዝቀዝ ወቅት ዋፈር ወይም ንጣፎችን ከፍ ለማድረግ ያገለግላሉ። እነዚህ ፒኖች ከ99.8% አሉሚና ወይም ሲሊከን ናይትሬድ የተመረቱ ሲሆን ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ፣ የሙቀት መረጋጋት እና የኬሚካል መቋቋም ይሰጣሉ። ሄሚስፌሪካል ወይም ጠፍጣፋ ጫፍ ዲዛይን የዋፈር መቧጨርን ይከላከላል።
