ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሻወር ጭንቅላት የአልሙና ጋዝ ማከፋፈያ ሳህን
የቅዱስ ሴራ የጋዝ ማከፋፈያ ሳህን (ሻወር ጭንቅላት) ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% የአሉሚና ሴራሚክ የተሰራ ነው። በሲቪዲ፣ ፒቪዲ ወይም ኤኤልዲ ሂደቶች ወቅት በዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት የሚያረጋግጡ የተለያዩ ጥቃቅን ቀዳዳዎችን (ዲያሜትሮች 0.3–1.5 ሚሜ) ያካትታል። የሳህኑ ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ (>15×10⁶ ቪ/ሜ) እና የፕላዝማ መቋቋም ለሴሚኮንዳክተር ቀጭን ፊልም ክምችት አስፈላጊ ያደርገዋል።
ዝርዝር መግለጫዎች፡
| ንብረት | እሴት |
| ቁሳቁስ | 99.8% Al₂O₃ ወይም SiC |
| ዲያሜትር | 100-1500 ሚሜ (ክብ) ወይም አራት ማዕዘን ቅርጽ ያለው |
| ውፍረት | 5 – 20 ሚሜ |
| የቀዳዳ ዲያሜትር | 0.3 – 1.5 ሚሜ |
| የቀዳዳ ንድፍ | ብጁ (ሶስት ማዕዘን፣ ካሬ፣ ራዲያል) |
| ጠፍጣፋነት | ≤10 μm ከሙሉ ቦታ በላይ |
| የወለል ሻካራነት | ራ ≤0.6 μm (የጋዝ ጎን) |
| የክፍት ቦታ ጥምርታ | 5–15% |
አፕሊኬሽኖች፡
የPECVD የሻወር ጭንቅላት ሳህኖች
የ ALD ጋዝ መርፌዎች
የኤች ቻምበር የጋዝ ማከፋፈያ ሳህኖች
የ MOCVD ሬአክተር ክፍሎች
ማኑፋክቸሪንግ፡
የአልሙና ንጣፍ ጠፍጣፋ → የአልማዝ ሽፋን ባላቸው መሳሪያዎች የ CNC ቁፋሮ (የቀዳዳ አቀማመጥ መቻቻል ±0.02 ሚሜ) → ማበላሸት → የአልትራሳውንድ ጽዳት → የክፍል 100 ማሸጊያ።
የጥራት ቁጥጥር፡
እያንዳንዱ ሳህን የቀዳዳውን መጠን (የእይታ ስርዓት)፣ ጠፍጣፋነቱን (የሌዘር ኢንተርፌሮሜትር) እና የጋዝ ፍሰት ወጥነት (የግፊት ካርታ) ለማረጋገጥ 100% ምርመራ ይደረግበታል። ከ20x ማይክሮስኮፕ በታች ማይክሮ-ስንጥቆች የሉም።
ከብረት ሰሌዳዎች የበለጠ ጥቅሞች:
በቀጭን ፊልሞች ውስጥ ምንም የብረት ብክለት የለም
ዝቅተኛ የቅንጣት ማመንጨት (ምንም የዝገት ፍሌክስ የለም)
ኃይለኛ የጽዳት ፕላዝማዎችን (CF₄፣ NF₃) ይቋቋማል
ብጁ ባህሪያት፡
የኋላ ጋዝ ቻናሎች፣ የተገላቢጦሽ ቀዳዳዎች፣ የጠርዝ ማኅተሞች እና የተለያዩ የቁሳቁስ ደረጃዎች (ለከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኮንዳክቲቭነት SiC፣ ለፕላዝማ መቋቋም Y₂O₃ ሽፋን)።
ከማምረት በፊት የ CAD ማረጋገጫ እና የፍሰት ማስመሰልን እናቀርባለን።
