ለፕላዝማ ኤች እና ሲቪዲ ሲስተሞች ከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ቻምበር የትኩረት ቀለበት

የቅዱስ ሴራ የክፍል ትኩረት ቀለበት በፕላዝማ ኢች፣ ሲቪዲ እና ፒቪዲ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ወሳኝ የሂደት ኪት አካል ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (አል₂O₃) የተመረተው ቀለበት የዋፈር ጠርዝን በመክበብ የ ion አንግል ስርጭትን ያመቻቻል፣ በዚህም በዋፈር ወለል ላይ የኤች ወጥነት ያሻሽላል። ቁሱ ልዩ የሆነ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በጠንካራ የፍሎሪን ወይም ክሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የመሬት መታወቂያ/OD እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ትክክለኛ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የጠርዝ ጉድለቶችን እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።

ዝርዝር መግለጫዎች(በ99.8% አል ላይ የተመሰረተ)₂O₃):

አፕሊኬሽኖች፡

• · የዲኤሌክትሪክ ኢች ቻምበር የትኩረት ቀለበቶች (ኦክሳይድ፣ ናይትራይድ ኢች)
• · የሲሊኮን ኢች ቻምበር ጠርዝ ቀለበቶች
• · የሲቪዲ ቻምበር ሂደት ኪት ቀለበቶች
• · የPVD ክፍል ጋሻ እና ክላምፕ ቀለበቶች

የማምረቻ ሂደት፡

ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ዱቄት በገለልተኛ መንገድ ተጭኖ → አረንጓዴ ቅርጽ ባለው መልኩ ወደ ንፁህ ቅርጽ ተቀይሮ → በ1600°ሴ → የሲኤንሲ የአልማዝ መፍጨት → ጠፍጣፋነትን ለማግኘት ≤10 μm → የአልትራሳውንድ ጽዳት → 100% CMM ፍተሻ። የገጽታ አጨራረስ Ra ≤0.4 μm የቅንጣት ማጣበቂያን ይቀንሳል።

የጥራት ቁጥጥር፡

• · 100% የልኬት ምርመራ (ID፣ OD፣ ውፍረት፣ ትይዩነት)
• · ለማይክሮ-ስንጥቆች የቀለም ዘልቆ መግባት ሙከራ (ስንጥቆች አይፈቀዱም)
• · በ20× ማይክሮስኮፕ ስር የእይታ ምርመራ — ምንም ቺፕስ፣ ባዶነት ወይም ቀለም መቀየር የለም
• · የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ ሙከራ በ ASTM D149 (ናሙና)

ከሲሊኮን ወይም ኳርትዝ ፎከስ ቀለበቶች በላይ ጥቅሞች፡

• · በፍሎሮካርቦን ፕላዝማ ውስጥ ከ5–10× ረጅም የህይወት ዘመን
• · ዋፈርን የሚበክሉ የሚበሉ የከርሰ ምድር ቅንጣቶች የሉም
• · ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ ቅስትን ይከላከላል
• · በሺዎች በሚቆጠሩ የRF ሰዓታት ውስጥ ጠፍጣፋነትን እና የመለኪያ ትክክለኛነትን ይጠብቃል

ተለዋጭ ቁሳቁስ — ይትሪያ-የተረጋጋ ዚርኮኒያ (ZrO2)₂):

ከፍተኛ የስብራት ጥንካሬን ለሚጠይቁ አፕሊኬሽኖች (ለምሳሌ፣ በተደጋጋሚ የሙቀት ዑደት ወይም ሜካኒካል ድንጋጤ ያለባቸው ክፍሎች)፣ ZrO₂ የትኩረት ቀለበቶች (ጥግግት 6.03 ግ/ሴሜ³፣ የመተጣጠፍ ጥንካሬ 1000 MPa፣ የስብራት ጥንካሬ 5–8 MPa·m¹/²) ይገኛሉ። ሆኖም ግን፣ አሉሚና የተሻለ ወጪ ቆጣቢነትን ይሰጣል እና ለአብዛኛዎቹ የትኩረት ቀለበት አፕሊኬሽኖች የኢንዱስትሪ ደረጃ ነው።

ማበጀት፡

• · በደንበኛ ስዕል መሰረት የደረጃ መገለጫዎችን፣ የቆጣሪ ቦሪዎችን ወይም የመጫኛ ቀዳዳዎችን ደረጃ ይስጡ
• · የፕላዝማ መሸርሸርን የመቋቋም አቅምን ለማሻሻል የY₂O₃ ሽፋን (ውፍረት 20–100 μm)
• · የክፍል ቁጥር፣ የቀን ኮድ ወይም የአሰላለፍ ምልክቶች የሌዘር ምልክት ማድረጊያ

ማሳሰቢያ፡ሁሉም መረጃዎች የቀረበለትን የAl₂O₃ ንብረት ሰንጠረዥ በጥብቅ ይከተላሉ። ለZrO₂ ዝርዝር መግለጫዎች፣ የቀረበውን የዚርኮኒያ የውሂብ ሉህ ይመልከቱ። የትኩረት ቀለበት ዲዛይኖች የፈጠራ ባለቤትነት ማረጋገጫ ሊፈልጉ ይችላሉ - ደንበኞች የአእምሯዊ ንብረት መብቶችን የማረጋገጥ ኃላፊነት አለባቸው።