ለከፍተኛ ሙቀት ክፍል ማሸጊያ የሚሆን ከፍተኛ ንፁህ የአሉሚና ሴራሚክ ማህተም ቀለበት

የቅዱስ ሴራሚክ ማኅተም ቀለበት ኤላስቶመሮች በሚበላሹባቸው በጣም አስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ከፖሊመር ኦ-ቀለበቶች አማራጭ ሆኖ የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራው ይህ ጠንካራ የማኅተም ቀለበት እስከ 800°ሴ ባለው የሙቀት መጠን እና በኃይለኛ ፕላዝማ ወይም ኬሚካላዊ አካባቢዎች አስተማማኝ የቫክዩም ወይም የጋዝ መከላከያ ለማቅረብ በማይንቀሳቀስ የማኅተም አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። ቁሱ ዜሮ ጋዝ ማውጣት፣ ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ (ከታች ያለው የመተጣጠፍ ጥንካሬ 361 MPa) እና የኬሚካል ኢንተለጀንስ (ከ HF በስተቀር ለ halogens፣ አሲዶች እና አልካላይስ የሚቋቋም) ይሰጣል። በትክክል የተዘጉ የማኅተም ቦታዎች (ጠፍጣፋነት ≤5 μm፣ የገጽታ ሻካራነት Ra ≤0.2 μm) ከተጣመሩ የብረት ወይም የሴራሚክ ክፍሎች ጋር ፍሳሽ-ጥብቅ ግንኙነትን ያረጋግጣሉ።

ዝርዝር መግለጫዎች(በ99.8% አል ላይ የተመሰረተ)₂O₃):

አፕሊኬሽኖች፡

• · ሴሚኮንዳክተር ፕሮሰስ ቻምበር ስታቲክ ማህተሞች (CVD፣ PVD፣ Etch)
• · ከፍተኛ ሙቀት ያለው የእቶን በር ማኅተሞች
• · የቫኩም ምግብ ማስተላለፊያ ፍላንጅ
• · የኬሚካል ሪአክተር መርከቦች መዘጋት

የማምረቻ ሂደት፡

እጅግ በጣም ጠፍጣፋ፣ ለስላሳ የማሸጊያ ፊቶችን ለማግኘት ኢሶስታቲክ ፕሬንግ → ሲንቴሪንግ በ1600°ሴ → ትክክለኛነት ባለ ሁለት ጎን ላፕ ማድረግ → የጠርዝ ቻምፌሪንግ → አልትራሳውንድ ጽዳት። እያንዳንዱ ቀለበት በመደበኛ የብረት ጋኬት በሄሊየም ፍሳሽ ማወቂያ ላይ 100% ፍሳሽ ተፈትኗል።

የጥራት ቁጥጥር፡

• · የሲኤምኤም ልኬት ቼክ (መታወቂያ፣ ኦዲ፣ ውፍረት፣ ትይዩነት)
• · ለ Ra እና ለሞቪኒዝ የገጽታ ፕሮፊሎሜትር
• · የኦፕቲካል ጠፍጣፋ በመጠቀም የጠፍጣፋነት መለኪያ
• · የሂሊየም መፍሰስ ሙከራ (የኋላ-ግፊት ዘዴ)

ከፖሊመር ኦ-ቀለበቶች የበለጠ ጥቅሞች፡

• · ለ FFKM 800°C ከ <300°C ጋር ይቋቋማል
• · ጋዝ ጨርሶ አለማስወጣት — የቫክዩም አካባቢ ብክለት የለም
• · ለሁሉም የፕላዝማ ኬሚስትሪ (ፍሎሪን፣ ክሎሪን፣ ኦክስጅን) የሚቋቋም
• · ምንም የመጭመቂያ ስብስብ ወይም ቋሚ የመበስበስ ሁኔታ የለም
• · ያልተገደበ የአገልግሎት ጊዜ በንጹህ አካባቢዎች

ገደቦች (ወሳኝ አስተያየቶች):

• · የኦ-ሪንግ አይደለም— ለስላሳ ጋኬት (መዳብ፣ አልሙኒየም ወይም ግራፋይት) የሚፈልግ ጠንካራ የሴራሚክ ቀለበት ነው።
• · ተለዋዋጭ እንቅስቃሴን ወይም ትልቅ የፍላንጅ አለመመጣጠንን አያስተናግድም።
• · ከፖሊመር ኦ-ቀለበቶች የበለጠ የመጀመሪያ ወጪ፣ ነገር ግን ረጅም ዕድሜ የባለቤትነት ወጪን ይቀንሳል።
• · ብስባሽ - በጥንቃቄ ይያዙት፤ የነጥብ ተጽዕኖን ወይም የታጠፈ ውጥረትን ያስወግዱ።

ማሳሰቢያ፡ከላይ ያለው መረጃ የቀረበውን የAl₂O₃ ንብረት ሰንጠረዥ በጥብቅ ይከተላል። ለኤላስቶሜሪክ ቁሳቁሶች ምንም መረጃ አልቀረበም። ይህ ምርት የማይንቀሳቀስ የማኅተም ቀለበት ነው፣ ኤላስቶሜሪክ ኦ-ቀለበት አይደለም። ይህ የማመልከቻዎን መስፈርቶች የሚያሟላ መሆኑን እባክዎ ያረጋግጡ።