ለሴሚኮንዳክተር ሂደት እቃዎች የሴራሚክ ድጋፍ ፒን
የቅዱስ ሴራ የሴራሚክ ድጋፍ ፒኖች (ሊፍት ፒኖች ወይም የድጋፍ ፒኖች በመባልም ይታወቃሉ) በሴሚኮንዳክተር ሂደት ክፍሎች ውስጥ በአያያዝ፣ በማሞቅ ወይም በማቀዝቀዝ ወቅት ዋፈር ወይም ንጣፎችን ከፍ ለማድረግ ያገለግላሉ። እነዚህ ፒኖች ከ99.8% አሉሚና ወይም ሲሊከን ናይትሬድ የተመረቱ ሲሆን ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ፣ የሙቀት መረጋጋት እና የኬሚካል መቋቋም ይሰጣሉ። ሄሚስፌሪካል ወይም ጠፍጣፋ ጫፍ ዲዛይን የዋፈር መቧጨርን ይከላከላል።
ዝርዝር መግለጫዎች(አሉሚና 99.8%)፡
| ንብረት | እሴት |
| ቁሳቁስ | 99.8% Al₂O₃ ወይም Si₃N₄ |
| ርዝመት | 10 – 100 ሚሜ |
| ዲያሜትር | 1 – 10 ሚሜ |
| የጫፍ ቅርፅ | ጠፍጣፋ፣ ሄሚስፌርያዊ፣ ሾጣጣ |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት (Al₂O₃) | 1600°ሴ |
| የገጽታ አጨራረስ | የተዘለለ (ራ ≤0.4 μm) |
| ዲያሜትር ላይ መቻቻል | ±0.01 ሚሜ |
አፕሊኬሽኖች፡
በሲቪዲ/ፒቪዲ ክፍሎች ውስጥ ፒኖችን ማንሳት
ለሞቅ ሳህን መጋገር የድጋፍ ፒኖች
የፕሮብ ካርድ ድጋፍ መዋቅሮች
የኳርትዝ እቶን ጀልባ ድጋፎች
ማኑፋክቸሪንግ፡
ትክክለኛ ማዕከላዊ ያልሆነ የኦዲ መፍጨት → የጫፍ መገለጫ አልማዝ መፍጨት → የአልትራሳውንድ ጽዳት → 100% ልኬት ምርመራ።
የጥራት ቁጥጥር፡
ርዝመት/ዲያሜትር ሲኤምኤም፣ ለጫፍ ራዲየስ የኦፕቲካል ንጽጽር፣ የመጭመቂያ ጥንካሬን ለማረጋገጥ የጭነት ሙከራ (በአንድ ሎት የዘፈቀደ ናሙና)። የፌሮማግኔቲክ ብክለት የለም (በማግኔት የተረጋገጠ)።
ከብረት ወይም ኳርትዝ ፒኖች የበለጠ ጥቅሞች፡
ከማይዝግ ብረት 5 እጥፍ የሚረዝም የህይወት ዘመን
በሂደቱ ክፍል ውስጥ ምንም የብረት ብክለት የለም
ከኳርትዝ የበለጠ የሙቀት አቅም (1600°ሴ ከ1100°ሴ ጋር ሲነጻጸር)
የማይጣበቅ ወለል (የተቀነሰ የቅንጣት ማጣበቂያ)
ማበጀት፡
በርካታ የጫፍ መገለጫዎች፣ የተዘጉ መሠረቶች ወይም የተወዛወዙ ዘንግ።
እንዲሁም ለከፍተኛ የፕላዝማ አካባቢዎች የSiC ፒኖችን እናቀርባለን።
