ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሂደት ቻምበርስ ብጁ ከፍተኛ ንፁህ የአልሙና የሴራሚክ ቀለበት

ለሲቪዲ/ፒቪዲ የሂደት ቻምበርስ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ቀለበት

አጭር መግለጫ፡

የቅዱስ ሴራሚክ ቀለበት በተለይ በሲቪዲ (ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን) እና በፒቪዲ (አካላዊ ትነት ዲፖዚሽን) የሂደት ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ ነው። ከ99.8% ከፍተኛ ንፁህ አሉሚና (አል₂O₃) የተሰራው ይህ ቀለበት ፕላዝማውን ለመገደብ እና የክፍሉን ግድግዳዎች ከአፈር መሸርሸር ለመጠበቅ እንደ የክፍል ሽፋን፣ የትኩረት ቀለበት ወይም የሂደት ኪት አካል ሆኖ ያገለግላል። ቁሱ እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም በኃይለኛ ፍሎሪን ላይ በተመሰረቱ የፕላዝማ አካባቢዎች ረጅም የአገልግሎት ዘመንን ያረጋግጣል። ትክክለኛ የልኬት መቻቻል (±0.05 ሚሜ በID/OD ላይ) እና ጠፍጣፋነት (≤10 μm) ወጥ የሆነ የዋፈር ጠርዝ አቀማመጥን ያስችላሉ፣ የተከማቸ ወጥነትን ያሻሽላሉ እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ።

ኢሜይል ይላኩልን

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ዝርዝር መግለጫዎች (በ99.8% Al₂O₃ ላይ የተመሠረተ):

ንብረት	እሴት
ቁሳቁስ	99.8% አሉሚና (አይቮሪ)
ጥግግት	3.93 ግ/ሴሜ³
የውሃ መምጠጥ	0%
የመተጣጠፍ ጥንካሬ	361 MPa
የስብራት ጥንካሬ	3–4 MPa·m¹/²
የቪከርስ ጥንካሬ	16 ጂፒኤ
የያንግ ሞዱለስ	380 ጂፒኤ
የሙቀት ማስተላለፊያ	32 ወ/ሜ·ኪ
የሙቀት መስፋፋት (25–1000°ሴ)	7.2×10⁻⁶/℃
የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ	15 × 10⁶ ቮ/ሜ
የተወሰነ ተቃውሞ	>10¹⁴ Ω·ሴሜ
ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት	1600°ሴ

አፕሊኬሽኖች፡

· የሲቪዲ ቻምበር የትኩረት ቀለበቶች እና የጠርዝ ቀለበቶች
· የPVD ክፍል ጋሻ ቀለበቶች እና ክላምፕ ቀለበቶች
· የቁራጭ ክፍል ሽፋኖች እና የሽፋን ቀለበቶች
· በዲኤሌክትሪክ ኢች ሲስተምስ ውስጥ የፕላዝማ እገዳ ቀለበቶች

የማምረቻ ሂደት፡

ኢሶስታቲክ ፕሬንግ → አረንጓዴ ማሽነሪ → በ1600°ሴ ሲንቴሪንግ → CNC ID/OD መፍጨት → የገጽታ ላፕ → አልትራሳውንድ ጽዳት → 100% CMM ፍተሻ። እጅግ በጣም ለስላሳ የገጽታ አጨራረስ (Ra ≤0.4 μm) የቅንጣት ማጣበቂያን ይቀንሳል።

የጥራት ቁጥጥር፡

· 100% የልኬት ቼክ (መታወቂያ፣ ኦዲ፣ ውፍረት፣ ጠፍጣፋነት)
· ለገጽታ ማይክሮ-ስንጥቆች የቀለም ዘልቆ የሚገባ ምርመራ
· የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ ሙከራ በ ASTM D149 መሠረት
· በ20× ማይክሮስኮፕ ስር ምንም የሚታይ የቀለም ለውጥ ወይም ቀዳዳ የለም

ከብረት ወይም ከኳርትዝ ቀለበቶች በላይ ጥቅሞች፡

· በፍሎሪን ፕላዝማ ውስጥ ካሉት የአሉሚኒየም ቀለበቶች 5–10× ረጅም ዕድሜ
· በቀጭን ፊልሞች ውስጥ የብረት ብክለት የለም
· ከኳርትዝ የበለጠ የፕላዝማ መቋቋም (ምንም የአፈር መሸርሸር የለም)
· ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላም ቢሆን የኤሌክትሪክ መከላከያ >10¹⁴ Ω·ሴሜ

ተለዋጭ ቁሳቁስ — ሲሊኮን ናይትሬድ (ሲ)₃N₄):

የበለጠ ከፍተኛ የስብራት ጥንካሬ (6.2 MPa·m¹/²) እና የተሻለ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም (የማስፋፊያ ኮፊሸንት 3.2×10⁻⁶/℃) ለሚፈልጉ አፕሊኬሽኖች፣ Si₃N₄ ቀለበቶች ይገኛሉ። ሆኖም ግን፣ አሉሚና ለአብዛኛዎቹ የCVD/PVD አፕሊኬሽኖች የበለጠ ወጪ ቆጣቢ ነው። ሲያዝዙ የቁሳቁስ ምርጫዎን ይግለጹ።

ማበጀት፡