ከባህላዊው የAl2O3 እና የBeO ንጣፎች ቁሳቁሶች አጠቃላይ የአፈጻጸም ጥቅሞች ጋር ተዳምሮ፣ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (የሞኖክሪስታል ቲዎሪቲካል የሙቀት ማስተላለፊያ 275W/m▪k፣ የፖሊክሪስታል ቲዎሪቲካል የሙቀት ማስተላለፊያ 70~210W/m▪k)፣ ዝቅተኛ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ፣ ከነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ጋር የሚጣጣም የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት እና ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ያሉት የአልሙኒየም ናይትሬድ (AlN) ሴራሚክ፣ በማይክሮኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ ለወረዳ ንጣፎች እና ማሸጊያዎች ተስማሚ ቁሳቁስ ነው። እንዲሁም በጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሜካኒካል ባህሪያት፣ በሙቀት ባህሪያት እና በኬሚካል መረጋጋት ምክንያት ለከፍተኛ የሙቀት መዋቅራዊ የሴራሚክ ክፍሎች አስፈላጊ ቁሳቁስ ነው።
የAlN ቲዎሬቲካል ጥግግት 3.26ግ/ሴሜ3፣ የMOHS ጥንካሬ 7-8፣ የክፍል-ሙቀት መቋቋም ከ1016Ωm በላይ ነው፣ እና የሙቀት መስፋፋት 3.5×10-6/℃ (የክፍል ሙቀት 200℃) ነው። ንፁህ AlN ሴራሚክስ ቀለም የሌላቸው እና ግልጽ ናቸው፣ ነገር ግን በቆሻሻዎቹ ምክንያት እንደ ግራጫ፣ ግራጫ ነጭ ወይም ቀላል ቢጫ ያሉ የተለያዩ ቀለሞች ሊሆኑ ይችላሉ።
ከከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ በተጨማሪ፣ የAlN ሴራሚክስ የሚከተሉትን ጥቅሞች አሉት፡
1. ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ;
2. ከሲሊኮን ሞኖክሪስታል ጋር ተመሳሳይ የሆነ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፣ እንደ Al2O3 እና BeO ካሉ ቁሳቁሶች የላቀ፤
3. ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ እና ተመሳሳይ የመተጣጠፍ ጥንካሬ ከAl2O3 ሴራሚክስ ጋር፤
4. መካከለኛ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ እና ዳይኤሌክትሪክ ኪሳራ፤
5. ከBeO ጋር ሲነጻጸር፣ የAlN ሴራሚክስ የሙቀት ማስተላለፊያ በተለይ ከ200℃ በላይ ባለው የሙቀት መጠን ብዙም አይጎዳም፤
6. ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም እና የዝገት መቋቋም;
7. መርዛማ ያልሆነ;
8. በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ፣ በኬሚካል ብረታ ብረት ኢንዱስትሪ እና በሌሎች የኢንዱስትሪ መስኮች ላይ ተግባራዊ መሆን።
የፖስታ ሰዓት፡ ጁላይ-14-2023