-
ከፍተኛ-ትክክለኛነት ያለው የአሉሚና የሴራሚክ ቀለበት የሴራሚክ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ST.CERA ብጁ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ ቹክ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ - ለከፍተኛ ሙቀት ዋፈር አያያዝ ከፍተኛ ጥንካሬ
የቅዱስ ሴራ ሲሲ የሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው የሲሊኮን ካርቦይድ (የሲሲ ይዘት 99.72%፣ ነፃ ሲ 0.05%) የS1111 ባች ቁሳቁስ በመጠቀም ነው። ልዩ የሆኑ የሜካኒካል ባህሪያትን ያቀርባል፡ የመተጣጠፍ ጥንካሬ 449 MPa (የተለካ)፣ የመለጠጥ ሞዱለስ 457 GPa (የተለካ) እና የቪከርስ ጥንካሬ 25-28 GPa (የተለመደ)። ዝቅተኛ ጥግግት (3.10-3.15 ግ/ሴሜ³፣ ዓይነተኛ) ከፍተኛ የተወሰነ ጥንካሬን ይሰጣል፣ ለከፍተኛ ፍጥነት ዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ተስማሚ። የሙቀት አማቂነት 120-150 W/m·K (የተለመደ) እና የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (የተለመደ) ያለው ይህ የመጨረሻ ኢፌክተር ሙቀትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያራግፋል እና በከፍተኛ ሙቀት አያያዝ ወቅት የልኬት መረጋጋትን ይጠብቃል (እስከ 1600-1700°ሴ፣ ምንም ጭነት የለም)። ጥቁር/ግራጫ ቀለም እና ዜሮ የውሃ መምጠጥ የንፁህ ክፍል ተኳሃኝነትን ያረጋግጣሉ።
-
ለከፍተኛ ሙቀት እና ለፕላዝማ አካባቢዎች በሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ላይ የተመሠረተ የቫኩም ቻክ
የሴራ ሲሲ ላይ የተመሠረተ የሴራሚክ ክላች የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ሲሊከን ካርቦይድ (ባች S1111፣ SiC 99.72%፣ ነፃ Si 0.05%) ነው። የሚለካ የ449 MPa የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ የ3.12 MPa·m¹/² ስብራት ጥንካሬ እና የ457 GPa የመለጠጥ ሞዱለስ ያቀርባል። የቁሳቁሱ የተለመደው የሙቀት ማስተላለፊያ (120–150 W/m·K) እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) በሙቀት ዑደት ወቅት ፈጣን የሙቀት መወጣጫ እና አነስተኛ የዋፈር ዋርፔጅ ያስችላሉ። ክላቹ እንደ ቀዳዳ ያለው የቫክዩም ክላች (ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት) ወይም የተቦረቦረ መደበኛ ክላች ሊዋቀር ይችላል። ከፍተኛው የአጠቃቀም ሙቀት 1600–1700°ሴ (ጭነት የሌለው) እና ልዩ የሆነ የፕላዝማ መሸርሸር መቋቋም ስላለው፣ ይህ ክላቹ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዋፈር ማቀነባበሪያ (ማኒሊንግ፣ RTP) እና አሉሚና ክላቹ የሚበላሹ ኃይለኛ የኤች ክፍሎች ተስማሚ ነው።
-
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ዕቃዎች የሴራሚክ ተሸካሚዎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለከፍተኛ ጥንካሬ አፕሊኬሽኖች በብረት የተደገፈ የአልሙና ሴራሚክ መፍጨት ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የብረት ላይ የተመሠረተ የአልሙኒየም መፍጫ ቀለበት ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአልሙኒየም (99.8% Al₂O₃) የሴራሚክ መልበስ ንብርብር ከትክክለኛ ማሽን የተሰራ የብረት ድጋፍ (በተለምዶ አልሙኒየም ወይም አይዝጌ ብረት) ጋር ያጣምራል። ይህ የተቀላቀለ ዲዛይን በመፍጫ ወለል ላይ የሴራሚክ ልዩ የመልበስ መቋቋም እና የኬሚካል አለመመጣጠን ይሰጣል፣ የብረት መሠረቱ ደግሞ ሜካኒካል ጥንካሬን፣ ቀላል መጫኛን እና ለብልሽት ስብራት የመቋቋም አቅምን ይጨምራል። የአልሙና ንብርብር 361 MPa የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ የቪከርስ ጥንካሬ 16 GPa እና እስከ 800°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። የብረት መሠረቱ በማሰሪያ ቀዳዳዎች፣ በቦታ ማሽነሪዎች፣ በፕላኔቶች መፍጫ ማሽኖች እና በሲኤምፒ መሳሪያዎች ውስጥ ለመዋሃድ በማግኔት ባህሪያት የተበጀ ነው።
-
ለሴሚኮንዳክተር ምርመራ ጣቢያ መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የ Al2O3 የሴራሚክ ዋፈር ቻክ ብጁ ሂደት
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ST.CERA ብጁ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ ሳህን
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለ300ሚሜ ዋፈር ማቀነባበሪያ የሚሆን 12 ኢንች የአሉሚና ቫክዩም ቻክ
የቅዱስ ሴራ 12 ኢንች የቫክዩም ክላች ለ300ሚሜ ዋፈር አያያዝ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (Al₂O₃) የተሰራ ነው። ክላቹ በጠቅላላው 300ሚሜ ዲያሜትር ላይ ወጥ የሆነ የቫክዩም ስርጭትን ለማረጋገጥ በጥሩ ሁኔታ የተቦረቦረ ወለል (የጉድጓድ ስፋት 0.5-1.0 ሚሜ፣ 2-3 ሚሜ) አለው። ጠፍጣፋነቱ በ5 μm ውስጥ ይጠበቃል፣ ይህም በመቁረጥ፣ በጀርባ መፍጨት እና በፍተሻ ወቅት ከዋርፕ-ነጻ የዋፈር ጥገና እንዲኖር ያስችላል። የቁሳቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና ጠንካራነት (16 GPa) በተደጋጋሚ የቫክዩም ዑደቶች ውስጥ እንኳን የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣሉ።
-
የተዋሃዱ የቫኩም ቻናሎች ያሉት የአሉሚና ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ
የቅዱስ ሴራ የአልሙኒየም ቫክዩም መጨረሻ ኢፌክተር በትክክለኛነት የተሰሩ የቫክዩም ቻናሎችን እና የመምጠጥ ቀዳዳዎችን በቀጥታ ወደ 99.8% ከፍተኛ ንፅህና ባለው የአልሙኒየም አካል ውስጥ ያዋህዳል። ይህ ዲዛይን ውጫዊ የቫክዩም ፓዶችን ያስወግዳል፣ ይህም ቀጥተኛ የዋፈር ፒክአፕን በአንድ ወጥ የመያዣ ኃይል ያስችላል። የቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና ጥንካሬ (16 GPaa) በተደጋጋሚ የቫክዩም ዑደቶች ውስጥ የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣሉ። በፓድ አካባቢ ላይ ያለው ጠፍጣፋነት በ10 μm ውስጥ ይጠበቃል፣ ይህም የዋፈር ውጥረትን እና መሰበርን ይከላከላል። የቫክዩም ወደቦች ከኦሪጂናል ዕቃ አምራች ሮቦት ክንዶች ጋር በቀላሉ እንዲዋሃዱ ከኋላ መጫኛ ፍላንጅ ላይ ይገኛሉ።
-
ለቋሚ-ስሜታዊ ዋፈር አያያዝ ESD-አስተማማኝ የአሉሚና የሴራሚክ ክፍሎች
የቅዱስ ሴራ ESD (ኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሽ) ደህንነቱ የተጠበቀ የአልሙኒየም ሴራሚክ ክፍሎች ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ የተመረቱ ሲሆን በባለቤትነት በተዘጋጀ የዶፒንግ ወይም የሽፋን ሂደት አማካኝነት የተስተካከሉ የገጽታ ተቃውሞዎች ናቸው። እነዚህ ክፍሎች የማይንቀሳቀስ ክፍያን በብቃት ያጠፋሉ፣ ይህም በስሱ ሴሚኮንዳክተር ዋፈሮች እና መሳሪያዎች ላይ የኤሌክትሮስታቲክ ጉዳትን ይከላከላል። የመሠረቱ ቁሳቁስ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬውን (361 MPa)፣ ጥንካሬውን (16 GPa) እና ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬውን (15×10⁶ V/m) ይይዛል። ESD-አስተማማኝ የሴራሚክ ክፍሎች የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎችን፣ የማንሳት ፒኖችን፣ የመሪ ሀዲዶችን እና ለFAB አውቶሜሽን ብጁ እቃዎችን ያካትታሉ።
