የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ — ቀጭን እና በቀላሉ የሚሰበር ዋፈርን የማያገናኝ የዋፈር አያያዝ

የቅዱስ ሴራ የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር ያለ አካላዊ ንክኪ ዋፈርዎችን ለማስተናገድ የአየር ዳይናሚክ ሊፍት ይጠቀማል። ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% አሉሚና (Al₂O₃) ወይም ከሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የተሰራ ሲሆን፣ በመጨረሻው ኢፌክተር እና በዋፈር መካከል ቀጭን የአየር ፊልም ለመፍጠር ግፊት ያለው ጋዝ የሚያወጡ ትክክለኛ ማሽን ያላቸው ኖዝሎችን ያሳያል። ይህ ንክኪ የሌለው መርህ የኋላ ብክለትን፣ የጠርዝ መቆራረጥን እና የገጽታ ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም ለቀጭን (≤100 μm)፣ ለደካማ ወይም ለተዛቡ ዋፈርዎች ተስማሚ ያደርገዋል። የሴራሚክ ንጣፍ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (ለAl₂O₃ 361 MPa፤ እስከ 550–600 MPa ለSiC)፣ ዝቅተኛ ክብደት እና እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት መረጋጋት ይሰጣል፣ ይህም በከፍተኛ ፍጥነት ባለው የዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ውስጥ ተደጋጋሚ አቀማመጥን ያረጋግጣል።

ስለ ቁሳቁሶች ማስታወሻ፡አሉሚና (Al₂O₃) በሴራሚክ ዋፈር አያያዝ ውስጥ ለሴራሚክ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች በስፋት ጥቅም ላይ የሚውለው ቁሳቁስ ሲሆን ይህም በጠንካራነት፣ በኤሌክትሪክ መከላከያ፣ በኬሚካል መረጋጋት እና በዋጋ ቆጣቢነት በጣም ጥሩ ጥምረት ምክንያት ነው። ሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል፣ ከፍተኛ ጥንካሬ እና በጣም ለሚያስፈልጉ አፕሊኬሽኖች የተሻለ የመልበስ መቋቋም ይሰጣል። yttria-stabilized zirconia (ZrO₂) በክፍል ሙቀት ውስጥ ከፍተኛ የስብራት ጥንካሬን ቢሰጥም፣ ከፍተኛ ጥግግት እና የተለያዩ የሙቀት መስፋፋት ባህሪያት ስላሉት በዚህ አፕሊኬሽን ውስጥ ብዙም ጥቅም ላይ አይውልም፤ ልዩ የሆነ የስብራት ጥንካሬ በሚያስፈልግባቸው የተወሰኑ ሁኔታዎች ላይ ሊታሰብ ይችላል። ለቁስ ምርጫ መመሪያ እባክዎን የቴክኒክ ቡድናችንን ያማክሩ።

ዝርዝር መግለጫዎች(በ99.8% አል ላይ የተመሰረተ)₂O₃):

የአሠራር መርህ፡

የተጨመቀ አየር ወይም ናይትሮጅን (0.2–0.6 MPa) በውስጣዊ ቻናሎች እና በትክክለኛ ኖዝሎች በኩል ይቀርባል። የተፋጠነው የአየር ፍሰት ከመጨረሻው ተፅዕኖ ፈጣሪ (የበርኑሊ ተፅዕኖ) በላይ ዝቅተኛ ግፊት ያለው ዞን ይፈጥራል፣ ይህም ከ50–200 μm ባለው ክፍተት ላይ ዋፈርን የሚደግፍ የማንሳት ኃይል ይፈጥራል። የቫክዩም ቀዳዳዎች ወይም ፓዶች ከዋፈር ጀርባ ጋር አይገናኙም።

አፕሊኬሽኖች፡

• · ከኋላ መፍጨት በኋላ ቀጭን ዋፈር (≤50 μm) አያያዝ
• · የተዛባ የዋፈር ትራንስፖርት (ለምሳሌ፣ ከሲቪዲ ወይም ከማደንዘዣ በኋላ)
• · የፀሐይ ሴል እና የ LED ሰንፔር ንጣፍ ሽግግር
• · ምንም አይነት ቅንጣት ማመንጨት የማይፈልግ የጽዳት ክፍል አውቶሜሽን
• · የመስታወት ፓነል አያያዝ በማሳያ ማምረቻ ውስጥ

የማምረቻ ሂደት፡

ከከፍተኛ ንፁህ ዱቄት የተሰራ የሴራሚክ ንጣፍ → የጋዝ ቻናሎችን እና የአፍንጫ ቀዳዳዎችን 5-ዘንግ CNC ማሽነሪ (ዲያሜትር 0.3–1.0 ሚሜ፣ መቻቻል ±0.01 ሚሜ) → የገጽታ መዘርጋት ወደ Ra ≤0.4 μm → የአልትራሳውንድ ጽዳት → የሂሊየም መፍሰስ ሙከራ (የጋዝ ቻናሎች)። ሽፋን አያስፈልግም - የሴራሚክ ወለል በኬሚካል የማይንቀሳቀስ እና የማይበከል ነው።

የጥራት ቁጥጥር፡

• · የአፍንጫ አፍንጫ አቀማመጥ፣ የክንድ ርዝመት እና ጠፍጣፋነት 100% ልኬት ያለው ምርመራ (ሲኤምኤም)
• · የአየር ፍሰት ወጥነት ሙከራ፡ በሁሉም ኖዝሎች ላይ የግፊት መቀነስ ≤5%
• · የፍሰት ሙከራ፡ የጋዝ ቻናሎች በ0.6 MPa የታሸጉ፣ ከ30 ሰከንዶች በላይ የግፊት ቅነሳ የለም
• · ጥቃቅን ስንጥቆችን ወይም ብልሽቶችን ለማየት በ20× ማይክሮስኮፕ ስር የእይታ ምርመራ

Aከባህላዊ የግንኙነት መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች በላይ ጥቅሞች፡

• · ዜሮ የዋፈር የኋላ ብክለት — ምንም ሜካኒካል ንክኪ የለም
• · ቀጭን ዋፈርዎች የጠርዝ መቆራረጥ ወይም መሰበር የለባቸውም
• · የተጣመሙ ዋፈሮችን (እስከ 1 ሚሜ ቀስት) በተረጋጋ ክፍተት ይይዛል
• · የቫኩም ጀነሬተርን እና ቀዳዳ ያለው የቾክ ጥገናን ያስወግዳል
• · የሴራሚክ ግንባታ እርጅናን እና የኬሚካል ጥቃትን ይቋቋማል

ማበጀት፡

• · ለ200 ሚሜ፣ 300 ሚሜ ወይም ብጁ የዋፈር መጠኖች ይገኛል
• · የጋዝ ኖዝል ቅጦች፡ ቀጥ ያሉ፣ አንግል ያላቸው ወይም የሽክርክሪት ዓይነቶች
• · ቁሳቁሶች፡ አሉሚና (መደበኛ) ወይም ሲሊከን ካርቦይድ (ለከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል እና የአለባበስ መቋቋም)
• · የክንድ ርዝመት፣ የመጫኛ ፍላንጅ እና የጋዝ ወደብ ቦታ በዋና ዕቃ አምራች ስዕል መሰረት

ገደቦች፡

የበርኖሊ መርህ አተገባበር (የኖዝል ዲዛይን፣ የአየር ክፍተት) ከተሰጡት የቁሳቁስ ንብረት ሰንጠረዦች ወሰን በላይ ነው። ከላይ ያሉት ሜካኒካል እና የሙቀት ባህሪያት ለ99.8% Al₂O₃ የቀረቡትን የውሂብ ሉሆች በጥብቅ ይከተላሉ። በእነዚህ የቁሳቁስ ባህሪያት ላይ በመመስረት በተጫነ የጋዝ ፍሰት ስር የሴራሚክ የአፈጻጸም መበላሸት አይጠበቅም። ለጋዝ ፍሰት ስሜታዊ ለሆኑ ዋፈሮች (ለምሳሌ፣ በቀላሉ የሚሰበሩ መዋቅሮች ያላቸው MEMS)፣ የጋዝ ግፊት እና የአፍንጫ ዲዛይን በዚሁ መሰረት መስተካከል አለባቸው።