ለተጠማዘዘ ዋፈር አያያዝ ባለ ቀዳዳ የሴራሚክ ቫክዩም ማገጃ

የቅዱስ ሴራ ቀዳዳ ያለው የሴራሚክ ክላች የተሰራው ከከፍተኛ ንፁህ አልሙና ሲሆን ከ30-45% የሆነ ወጥ የሆነ ክፍት ቀዳዳ እና ከ10 እስከ 100 μm የሚደርስ የቀዳዳ መጠን አለው። ከተለምዷዊው ጎድጎድ ያሉ ክላች በተለየ መልኩ ቀዳዳው ወለል በጠቅላላው ዋፈር ጀርባ ላይ የተከፋፈለ ቫክዩም ያቀርባል፣ የተጠማዘዘ፣ ቀጭን ወይም የተነጠፈ ዋፈር ያለ ጠርዝ ማንሳት ወይም መሰበር ውጤታማ በሆነ መንገድ ይይዛል። ረጋ ያለው ቫክዩም (በመገደብ በኩል ሊስተካከል የሚችል) የጀርባ ምልክትን ይከላከላል።

ዝርዝር መግለጫዎች(በ99.6% አል ላይ የተመሠረተ)₂O₃):

አፕሊኬሽኖች፡

ቀጭን ዋፈር (≤50 μm) የኋላ መፍጨት

ለመቁረጥ የተዘበራረቀ የዋፈር መጫኛ

ከቴፕ የተወሰደ የዳይ ማንሳት

የመስታወት ፓነል አያያዝ

ማምረት እና ጥራት፡

የሴራሚክ ዱቄት ከኦርጋኒክ ቀዳዳ ቅርጻ ቅርጾች ጋር ​​የተቀላቀለ → ተጭኖ → ሲንተሬትድ → እስከ መጨረሻው ውፍረት ድረስ ተጭኗል። እያንዳንዱ ቋጥኝ የቫክዩም ወጥነት (≤5% ልዩነት) ለማግኘት የፍሰት ምርመራ ይደረግበታል እና የቀዳዳ መጠን ስርጭት (SEM) ይመረመራል። ጠፍጣፋነቱ የሚለካው በሌዘር ኢንተርፌሮሜትር ነው።

ከተጠበሱ ቹኮች በላይ ጥቅሞች፡

የዋፈር ጠርዝ ምልክት ወይም የዳይ ፈረቃ የለም

የተጣመሙ ዋፈርዎችን (እስከ 500 μm ቀስት) ይይዛል

የቫክዩም ቀዳዳ መዘጋት ያስወግዳል

ለቀጭን ንጣፎች የራስ-ደረጃ ድጋፍ

ማበጀት፡

ክብ ወይም አራት ማዕዘን ቅርጽ ያላቸው ቅርጾች፣ መጠናቸው እስከ 600 ሚሜ ነው። የጠርዝ ማሸጊያ ቀለበቶችን ወይም የዞን ቫክዩም ክፍልፋዮችን መተግበር እንችላለን። ለከፍተኛ ጥንካሬ መስፈርቶች በብረት የተደገፉ ስሪቶች ይገኛሉ።

ለ wafer መጠንዎ እና ለ warpage ሙከራዎ ናሙና ይጠይቁ።