ለ300ሚሜ ዋፈር ማቀነባበሪያ የሚሆን 12 ኢንች የአሉሚና ቫክዩም ቻክ

የቅዱስ ሴራ 12 ኢንች የቫክዩም ክላች ለ300ሚሜ ዋፈር አያያዝ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና አልሙኒየም (Al₂O₃) የተሰራ ነው። ክላቹ በጠቅላላው 300ሚሜ ዲያሜትር ላይ ወጥ የሆነ የቫክዩም ስርጭትን ለማረጋገጥ በጥሩ ሁኔታ የተቦረቦረ ወለል (የጉድጓድ ስፋት 0.5-1.0 ሚሜ፣ 2-3 ሚሜ) አለው። ጠፍጣፋነቱ በ5 μm ውስጥ ይጠበቃል፣ ይህም በመቁረጥ፣ በጀርባ መፍጨት እና በፍተሻ ወቅት ከዋርፕ-ነጻ የዋፈር ጥገና እንዲኖር ያስችላል። የቁሳቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና ጠንካራነት (16 GPa) በተደጋጋሚ የቫክዩም ዑደቶች ውስጥ እንኳን የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣሉ።

ዝርዝር መግለጫዎች (በ99.8% Al₂O₃ ላይ የተመሠረተ):

አፕሊኬሽኖች፡

300ሚሜ የዋፈር ዳይሲንግ እና ስክሪቢንግ
የዋፈር ጀርባ መፍጨት (ቀጭን የዋፈር ድጋፍ)
 የኦፕቲካል ምርመራ እና ምርመራ
 ጊዜያዊ ትስስር/የማስወገድ ክላች

ማኑፋክቸሪንግ፡

የሲኤንሲ (CNC) መሬት ላይ ተዘርግቶ እስከ መጨረሻው ጠፍጣፋነት ድረስ ተዘርግቶ፣ በአልማዝ ጎማዎች ተሸፍኖ፣ በአልትራሳውንድ ተጠርጎ እና በክፍል 100 የጽዳት ክፍል ውስጥ ተሽጧል። እያንዳንዱ ቋጥኝ ጠፍጣፋነቱን (ሌዘር ኢንተርፌሮሜትር) እና የጉድጓዱን ጥልቀት (ፕሮፊሎሜትር) 100% ይመረመራል።

ጥቅሞች:

ዝቅተኛ የቅንጣት ማመንጨት (≤0.05 ቅንጣቶች/ሴሜ²)

 ለሟሟቶችና አሲዶች በኬሚካል የማይበገር

ኢኤስዲ-አስተማማኝ ወለል (የመቋቋም አቅም >10¹³ Ω·ሴሜ)

ብጁ የቫክዩም ቀዳዳ ቅጦች እና የኋላ ወደቦች ይገኛሉ።