ለከፍተኛ ሙቀት እና ለፕላዝማ አካባቢዎች በሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ላይ የተመሠረተ የቫኩም ቻክ

የሴራ ሲሲ ላይ የተመሠረተ የሴራሚክ ክላች የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ሲሊከን ካርቦይድ (ባች S1111፣ SiC 99.72%፣ ነፃ Si 0.05%) ነው። የሚለካውን የ449 MPa የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ የ3.12 MPa·m¹/² ስብራት ጥንካሬ እና የ457 GPa የመለጠጥ ሞዱለስ ያቀርባል። የቁሳቁሱ የተለመደው የሙቀት ማስተላለፊያ (120–150 W/m·K) እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) በሙቀት ዑደት ወቅት ፈጣን የሙቀት መወጣጫ እና አነስተኛ የዋፈር ዋርፔጅ እንዲኖር ያስችላል። ክላቹ እንደ ቀዳዳ ያለው የቫክዩም ክላች (ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት) ወይም የተቦረቦረ መደበኛ ክላች ሊዋቀር ይችላል። ከፍተኛው የአጠቃቀም ሙቀት 1600–1700°ሴ (ጭነት የሌለው) እና ልዩ የሆነ የፕላዝማ መሸርሸር መቋቋም ስላለው፣ ይህ ክላቹ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዋፈር ማቀነባበሪያ (ማኒሊንግ፣ RTP) እና አሉሚና ክላቹ የሚበላሹ ኃይለኛ የኤች ክፍሎች ተስማሚ ነው።

ዝርዝር መግለጫዎች(በተሰጠው የSiC S1111 የሙከራ ሪፖርት እና በተለመደው እሴቶች ላይ የተመሠረተ)):

አፕሊኬሽኖች፡

● ከፍተኛ የሙቀት መጠን መጨፍለቅ (ማኒሊንግ፣ RTP፣ ኤፒታክሲያል እድገት)

● ከፍተኛ የፍሎሪን መቋቋም ያለው የፕላዝማ ኢች ቸክ

● ቀጭን የዋፈር አያያዝ ከወጥ ማሞቂያ/ማቀዝቀዣ ጋር

● እውቂያ ያልሆነ የዋፈር ድጋፍ ያለው ቀዳዳ ያለው ቋጥኝ

ማኑፋክቸሪንግ፡

የሲሲ ሲንቴሪንግ → የጠፍጣፋነት እና የገጽታ መገለጫ ትክክለኛነት መፍጨት → አማራጭ ቀዳዳ ያለው መዋቅር ምስረታ (ለቫክዩም ቹክ) → ላፕ → አልትራሳውንድ ጽዳት። እያንዳንዱ ቹክ ጠፍጣፋነት (የሌዘር ኢንተርፌሮሜትር) እና የቫክዩም ወጥነት (የፍሰት ሙከራ) 100% ይመረመራል።

የጥራት ቁጥጥር፡

● የሲኤምኤም የልኬት ፍተሻ (ዲያሜትር፣ ውፍረት፣ የቀዳዳ አቀማመጥ)

● በ ASTM መሠረት የጠፍጣፋነት መለኪያ

● የሂሊየም መፍሰስ ሙከራ (ለቫክዩም ቹኮች)

● በእያንዳንዱ ባች የመተጣጠፍ ጥንካሬ ማረጋገጫ (የሙከራ ሪፖርት ማጣቀሻ)

ከአሉሚና ቹክስ የበለጠ ጥቅሞች፡

● ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (ለአልሙኒየም ከ120–150 ከ32 W/m·K ጋር ሲነጻጸር) - 4× ፈጣን የሙቀት ማስተላለፊያ

● ዝቅተኛ CTE (4.0 ከ 7.2×10⁻⁶/℃) - የዋፈር የሙቀት ጭንቀትን ይቀንሳል

● የላቀ የፕላዝማ መቋቋም - በፍሎሪን ኤክሴል ውስጥ 10 × ረጅም የህይወት ዘመን

● ከፍተኛ የአጠቃቀም ሙቀት (ለአልሙኒየም 1600°ሴ ከ800°ሴ ጋር ሲነጻጸር)

ማበጀት፡

● ቀዳዳ ያለው ወይም የተጠላለፈ ወለል

● ዲያሜትር 100–450 ሚሜ፣ ክብ ወይም ካሬ

● የጠርዝ ማሸጊያ ቀለበት ወይም የዞን ቫክዩም ክፍልፍሎች

● ለከፍተኛ ጥንካሬ መጫኛ የብረት ድጋፍ አማራጭ

ከላይ የተጠቀሱት ሁሉም ሜካኒካል መረጃዎች ከቀረበው የሙከራ ሪፖርት (ባች S1111) የመጡ ናቸው። የሙቀት እና የጥንካሬ እሴቶች ለዚህ የSiC ደረጃ የተለመዱ ናቸው። ባለ ቀዳዳ SiC ቹኮች ተጨማሪ ሂደት ያስፈልጋቸዋል፤ እባክዎን የተወሰነ የፖሊሶሲቲ እና የቀዳዳ መጠን መኖሩን ይጠይቁ።