ለቋሚ-ስሜታዊ ዋፈር አያያዝ ESD-አስተማማኝ የአሉሚና የሴራሚክ ክፍሎች
የቅዱስ ሴራ ESD (ኤሌክትሮስታቲክ ፈሳሽ) ደህንነቱ የተጠበቀ የአልሙኒየም ሴራሚክ ክፍሎች ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ የተመረቱ ሲሆን በባለቤትነት በተዘጋጀ የዶፒንግ ወይም የሽፋን ሂደት አማካኝነት የተስተካከሉ የገጽታ ተቃውሞዎች ናቸው። እነዚህ ክፍሎች የማይንቀሳቀስ ክፍያን በብቃት ያጠፋሉ፣ ይህም በስሱ ሴሚኮንዳክተር ዋፈሮች እና መሳሪያዎች ላይ የኤሌክትሮስታቲክ ጉዳትን ይከላከላል። የመሠረቱ ቁሳቁስ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬውን (361 MPa)፣ ጥንካሬውን (16 GPa) እና ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬውን (15×10⁶ V/m) ይይዛል። ESD-አስተማማኝ የሴራሚክ ክፍሎች የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎችን፣ የማንሳት ፒኖችን፣ የመሪ ሀዲዶችን እና ለFAB አውቶሜሽን ብጁ እቃዎችን ያካትታሉ።
ዝርዝር መግለጫዎች(በ 99.8% Al₂O₃ ላይ የተመሰረተ እና ከESD ህክምና ጋር):
| ንብረት | እሴት |
| የመሠረት ቁሳቁስ | 99.8% አሉሚና |
| የገጽታ መቋቋም (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/ስኩዌር |
| ጥግግት | 3.93 ግ/ሴሜ³ |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | 361 MPa |
| የቪከርስ ጥንካሬ | 16 ጂፒኤ |
| የያንግ ሞዱለስ | 380 ጂፒኤ |
| የሙቀት መስፋፋት (25-1000°ሴ) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት | 800°ሴ |
| የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ (በጅምላ) | 15 × 10⁶ ቮ/ሜ |
ማሳሰቢያ፡ የ ESD ወለል መቋቋም በቀረቡት የቁሳቁስ ንብረት ሰንጠረዦች ውስጥ አልቀረበም። ከላይ ያለው ክልል ለመበተን ለሚሰሩ ሴራሚክስ የኢንዱስትሪ ደረጃ ነው። ለሙከራ ሪፖርቶች እባክዎ ያነጋግሩን።
አፕሊኬሽኖች፡
● ለዋፈር ዝውውር ESD-አስተማማኝ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች
● በFAB መሳሪያዎች ውስጥ የመሬት አቀማመጥ ፒኖች እና የ ESD እቃዎች
● ለስታቲክ-ስሜታዊ መሳሪያዎች ሶኬቶችን ይሞክሩ
● የማይንቀሳቀስ ቁጥጥር ወሳኝ የሆነበት የጽዳት ክፍል መሳሪያዎች
ማምረት እና ጥራት፡
መደበኛ የአሉሚና ማቀነባበሪያ + የESD ወለል ህክምና → የገጽታ መቋቋም በ ANSI/ESD STM11.11 መሰረት ይለካል። እያንዳንዱ ክፍል 100% በኮንሰንትሪክ ሪንግ ኤሌክትሮድ ይሞከራል።
ጥቅሞች፡
● ከESD ጋር የተያያዘ የምርት ብክነትን ይከላከላል
● የሴራሚክ ሜካኒካዊ ጥንካሬ እና የኬሚካል መቋቋምን ይጠብቃል
● ከስታቲክ ፈሳሽ ምንም ቅንጣት ማመንጨት የለም
