-
ለዋፈር አያያዝ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ሮቦት ክንድ
የቅዱስ ሴራ የአልሙኒየም ሴራሚክ ሮቦት ክንድ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ (አልሙና) ትክክለኛ በሆነ መንገድ የተቀረፀ ነው። ልዩ የሆነ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa)፣ ከፍተኛ ጥንካሬ (16 GPa) እና ዝቅተኛ ጥግግት (3.93 ግ/ሴሜ³) ያጣምራል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ዋፈር ዝውውር ቀላል ክብደት ያለው ግን ግትር ክንድ ያስገኛል። የቁሱ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት (7.2×10⁻⁶/°C) ከሲሊኮን ጋር በቅርበት ይጣጣማል፣ ይህም በማቀነባበሪያ ወቅት የሙቀት አለመጣጣምን ይቀንሳል።
-
የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ — ቀጭን እና በቀላሉ የሚሰበር ዋፈርን የማያገናኝ የዋፈር አያያዝ
የቅዱስ ሴራ የቤርኖሊ ሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር ያለ አካላዊ ንክኪ ዋፈርዎችን ለማስተናገድ የአየር ዳይናሚክ ሊፍት ይጠቀማል። ከከፍተኛ ንፁህ 99.8% አሉሚና (Al₂O₃) ወይም ከሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የተሰራ ሲሆን፣ በመጨረሻው ኢፌክተር እና በዋፈር መካከል ቀጭን የአየር ፊልም ለመፍጠር ግፊት ያለው ጋዝ የሚያወጡ ትክክለኛ ማሽን ያላቸው ኖዝሎችን ያሳያል። ይህ ንክኪ የሌለው መርህ የኋላ ብክለትን፣ የጠርዝ መቆራረጥን እና የገጽታ ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም ለቀጭን (≤100 μm)፣ ለደካማ ወይም ለተዛቡ ዋፈርዎች ተስማሚ ያደርገዋል። የሴራሚክ ንጣፍ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (ለAl₂O₃ 361 MPa፤ እስከ 550–600 MPa ለSiC)፣ ዝቅተኛ ክብደት እና እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት መረጋጋት ይሰጣል፣ ይህም በከፍተኛ ፍጥነት ባለው የዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ውስጥ ተደጋጋሚ አቀማመጥን ያረጋግጣል።
-
በቴፍሎን የተሸፈነ የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ - ለስሱ ዋፈር አያያዝ የማይጣበቅ ወለል
የቅዱስ ሴራ ቴፍሎን (PTFE) ሽፋን ያለው የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው የአልሙና ንጣፍ ከመደበኛ፣ ዝቅተኛ ግጭት ካለው የPTFE ሽፋን (ውፍረት 15-30 μm) ጋር ያጣምራል። ሽፋኑ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የግጭት ኮፊሸንት (≤0.1)፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም እና የማይጣበቅ ባህሪያትን ይሰጣል፣ የዋፈር ማጣበቂያን ይከላከላል እና የጀርባ ብክለትን ያስወግዳል። ከስር ያለው የሴራሚክ ንጣፍ (99.8% Al₂O₃) ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361–1000 MPa)፣ የመልበስ መቋቋም እና እስከ 260°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት (የሽፋን ገደብ) ይሰጣል። ይህ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ ለስላሳ፣ ቀጭን ወይም ተለጣፊ ዋፈሮችን (ለምሳሌ፣ የፎቶ ተከላካይ ሽፋን ወይም የኬሚካል ሂደቶችን ካደረጉ በኋላ) ለማስተናገድ ተስማሚ ነው።
