ለተበላሸ እና ቀጭን ዋፈር አያያዝ አምራቾች እና አቅራቢዎች ብጁ በብረት የተደገፈ ቀዳዳ ያለው የሲሲ ቫክዩም ቻክ

ለጎለመሱ እና ቀጭን ዋፈር አያያዝ በብረት የተደገፈ ባለ ቀዳዳ SiC የቫኩም ማገጃ

አጭር መግለጫ፡

የቅዱስ ሴራ የብረት መሠረት ያለው የሴራሚክ ቫክዩም ቹክ ባለ ቀዳዳ ሲሊከን ካርቦይድ (SiC) የሴራሚክ ንብርብር ከትክክለኛ ማሽን የተሰራ የብረት መሠረት (አሉሚኒየም ወይም አይዝጌ ብረት) ጋር ያጣምራል። ባለ ቀዳዳ SiC ቁሳቁስ (ሰማያዊ-ጥቁር፣ ቀዳዳ 35-40%፣ ቀዳዳ መጠን 20-30 μm፣ መተላለፊያ 60 ሚሊ ሊትር/ሴሜ²·ደቂቃ) በመላው የዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ፣ ለስላሳ የቫክዩም ስርጭትን ይሰጣል፣ የጠርዝ ምልክትን ያስወግዳል እና ለቀጭን (≤100 μm) ወይም ለተዛቡ ዋፈሮች የማይገናኝ ድጋፍ ያስችላል። የSiC ንብርብር ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (3.5×10⁻⁶/℃)፣ እስከ 1000°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት እና መካከለኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (32-35 MPa) ይሰጣል። የብረት መሠረቱ መዋቅራዊ ጥንካሬን፣ በክር ቀዳዳዎች በኩል ቀላል መጫኛን እና ከተሰባበረ ስብራት ጥበቃን ይጨምራል። ይህ ቹክ ለጀርባ መፍጨት፣ ለመቁረጥ እና ለከፍተኛ ሙቀት ዋፈር ማቀነባበሪያ ተስማሚ ሲሆን ወጥ የሆነ ቫክዩም እና የሙቀት ተኳሃኝነት ወሳኝ ናቸው።

ኢሜይል ይላኩልን

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ዝርዝሮች (በተሰጠው ቀዳዳ ባለው የሲሲ መረጃ ላይ የተመሠረተ)

ንብረት	እሴት
የሴራሚክ ቁሳቁስ	ባለ ቀዳዳ ሲሊከን ካርቦይድ (SiC ≥80%)
ቀለም	ሰማያዊ-ጥቁር
ፖሮሲስ	35–40%
የቀዳዳ መጠን	20–30 μm
ጥግግት	2.1–2.3 ግ/ሴሜ³
ዘላቂነት	60 ሚሊ ሊትር/ሴሜ²·ደቂቃ
የመተጣጠፍ ጥንካሬ	32–35 MPa
የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት (25-1000°ሴ)	3.5×10⁻⁶/℃
ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት	1000°ሴ
የኤሌክትሪክ መቋቋም	10⁻¹⁰ Ω/ሴሜ (በተሰጠው መረጃ፣ ለቀዳዳ SiC የተለመደ)
የብረት መሠረት ቁሳቁስ	አሉሚኒየም 6061 ወይም አይዝጌ ብረት 304 (አማራጭ)
የብረት መሠረት ውፍረት	10–30 ሚሜ (ብጁ)

ማሳሰቢያ፡- የመገጣጠሚያ ጥንካሬው በቀዳዳነት ምክንያት ከጥብቅ SiC ያነሰ ነው። የብረት መሠረት ባህሪያት ከሴራሚክ ጠረጴዛዎች የተገኙ አይደሉም።

አፕሊኬሽኖች፡

· ቀጭን ዋፈርዎችን (≤100 μm) ከኋላ መፍጨት
· ለመቁረጥ የተዘበራረቀ የዋፈር መጫኛ
· ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ዋፈር መጨፍለቅ (እስከ 1000°ሴ)
· ቀዳዳ ላላቸው ወይም በቀላሉ ለሚሰበሩ ንጣፎች የቫኩም ማስተካከያ

ማኑፋክቸሪንግ፡

ባለ ቀዳዳ SiC ሳህን (በቀዳዳ ፎርመሮች የተሰራ፣ በሲንተሬድ የተሰራ) → እስከ ጠፍጣፋነት ≤10 μm → በቫክዩም ወደቦች እና የመጫኛ ባህሪያት የተተገበረ የብረት መሠረት → ኤፖክሲ ትስስር ወይም ሜካኒካል ክላምፕንግ → የሂሊየም መፍሰስ ሙከራ።

የጥራት ቁጥጥር፡

· የቀዳዳ እና የቀዳዳ መጠን በSEM ተረጋግጧል
· የአየር ፍሰት ሙከራ (የአየር ፍሰት)
· ጠፍጣፋነት በሌዘር ኢንተርፌሮሜትር ይለካል
· የሂሊየም መፍሰስ መጠን <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

ከተጣራ ወይም ጥቅጥቅ ካሉ የሴራሚክ ቾኮች ጥቅሞች:

· የዋፈር ምልክት የለም - ያለ ልዩ ቀዳዳዎች ወጥ የሆነ ቫክዩም
· የራስን ማጽዳት ቀዳዳዎች - የመዘጋት መቀነስ
· የተጣመሙ ዋፈርዎችን (እስከ 500 μm ቀስት) ይይዛል
· የብረት መሠረት የተሰበረ ስብራትን ይከላከላል እና ውህደትን ያቃልላል

ገደቦች፡

· ዝቅተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (32–35 MPa) - የመተጣጠፍ ጫናን ያስወግዱ
· የአሠራር የሙቀት መጠን በ1000°ሴ (ባለ ቀዳዳ SiC) የተገደበ ቢሆንም፣ በሜካኒካል ካልተጣበቀ በስተቀር የብረት መሠረት ያለው ኢፖክሲ ትስስር እስከ ≤200°ሴ ድረስ ይገድባል
· ለከፍተኛ ግፊት ቫክዩም አይደለም (ቀዳዳ መዋቅር ከፍተኛውን የቫክዩም ልዩነት ይገድባል)

ማበጀት፡