ለአካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ስርዓቶች የአልሙና PVD መከላከያ ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የPVD መከላከያ ቀለበት በአካላዊ የእንፋሎት ክምችት (PVD) ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራ ነው። ቀለበቱ በክፍል ክፍሎች መካከል የኤሌክትሪክ ማግለልን ይሰጣል፣ ይህም ቀስትን ይከላከላል እና የተረጋጋ የፕላዝማ አሠራርን ያረጋግጣል። ቁልፍ ባህሪያት ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m)፣ የተወሰነ የመቋቋም አቅም >10¹⁴ Ω·mm²/m2 እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ያካትታሉ። ትክክለኛ የማሽን ችሎታችን እስከ 600 ሚሜ የሚደርስ ውጫዊ ዲያሜትሮችን፣ ውስጣዊ ዲያሜትሮችን እስከ 0.2 ሚሜ የሚደርስ፣ 0.003 ሚሜ የሚደርስ ጠፍጣፋነት እና የገጽታ አጨራረስ Ra0.1 ያደርሳል። የቀለበቱ ዜሮ ቀዳዳ እና የኬሚካል አለመቻቻል በኃይለኛ ስፐተር አካባቢዎች ውስጥ የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉ።
ዝርዝሮች (በ99.8% አል ላይ የተመሠረተ)₂O₃እና የቅዱስ ሴራ የማምረቻ ችሎታዎች):
| ንብረት | እሴት |
| ቁሳቁስ | 99.8% አሉሚና (አይቮሪ) |
| ጥግግት | 3.93 ግ/ሴሜ³ |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | 361 MPa |
| የቪከርስ ጥንካሬ | 16 ጂፒኤ |
| የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ | 15 × 10⁶ ቮ/ሜ |
| የተወሰነ ተቃውሞ | >10¹⁴ Ω·ሚሜ²/ሜ |
| ከፍተኛ የውጪ ዲያሜትር | 600ሚሜ |
| ዝቅተኛው ውስጣዊ ዲያሜትር | 0.2ሚሜ |
| ከፍተኛ ውፍረት | 100ሚሜ |
| ጠፍጣፋነት | 0.003ሚሜ |
| ትይዩሊዝም | 0.002ሚሜ |
| የገጽታ አጨራረስ | Ra0.1 |
| ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት | 1600°ሴ |
አፕሊኬሽኖች፡
- · በPVD ስርዓቶች ውስጥ የታለመ የኋላ ሳህን መከላከያዎች
- · የቻምበር መመገቢያ መከላከያዎች
- · በስፖንተር ሲስተምስ ውስጥ የጋሻ ቀለበት መከላከያዎች
- · በፕላዝማ ክፍሎች ውስጥ ከፍተኛ-ቮልቴጅ ማግለል
የማምረቻ ትክክለኛነት፡
ማዕከላዊነት፡ 0.01ሚሜ፣ ክብነት፡ 0.002ሚሜ፣ ቀጥተኛነት፡ 0.005ሚሜ፣ ቀጥ ያለነት፡ 0.005ሚሜ፣ በሲኤምኤም የተረጋገጠ።
Aከፖሊመር ኢንሱሌተሮች የበለጠ ጥቅሞች፡
- · ከፖሊመሮች <300°ሴ ገደብ ጋር ሲነጻጸር 1600°ሴን ይቋቋማል
- · ጋዝ ማውጣት የለም - የቫኩም ታማኝነትን ይጠብቃል
- · የፕላዝማ መሸርሸርን እና የኬሚካል ጥቃትን ይቋቋማል
ማበጀት፡
ብጁ የመስቀል ክፍሎች፣ የመጫኛ ባህሪያት፣ የእርምጃ መገለጫዎች እና በርካታ ማዕከላዊ የቀለበት ዲዛይኖች ይገኛሉ።








